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本申请实施例公开了一种晶圆的清洗组件、清洗设备及清洗方法。该清洗组件包括：晶圆放置位，用于放置晶圆；移动轨道，以竖直方向间隔设置于所述晶圆放置位的至少一侧；至少第一喷头，设置于所述移动轨道上并能够沿所述移动轨道移动，用于朝向所述晶圆的方向喷...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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