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具有压力传感器的真空阀制造技术
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下载具有压力传感器的真空阀的技术资料
文档序号:23365899
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本发明涉及一种真空阀(1),该真空阀(1)具有阀塞(4)和与该阀塞(4)耦合的、优选地气动或电动气动的具有压力介质的驱动单元(7、7’)。该真空阀(1)还具有压力传感器(10、10’),使得能测量压力介质的压力。...
该专利属于VAT控股公司所有,仅供学习研究参考,未经过VAT控股公司授权不得商用。
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