下载具有压力传感器的真空阀的技术资料

文档序号:23365899

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本发明涉及一种真空阀(1),该真空阀(1)具有阀塞(4)和与该阀塞(4)耦合的、优选地气动或电动气动的具有压力介质的驱动单元(7、7’)。该真空阀(1)还具有压力传感器(10、10’),使得能测量压力介质的压力。...
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