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TALBOT-LAU X射线源和干涉测量系统技术方案
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文档序号:23364325
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本公开涉及TALBOT‑LAU X射线源和干涉测量系统。提供了一种x射线源,以及采用该x射线源的x射线干涉测量系统。x射线源包括靶,所述靶包括衬底和多个结构。衬底包括导热的第一材料和第一表面。多个结构位于第一表面的至少一部分上或嵌入在第一表...
该专利属于斯格瑞公司所有,仅供学习研究参考,未经过斯格瑞公司授权不得商用。
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