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微热板和微热板的制作方法技术
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下载微热板和微热板的制作方法的技术资料
文档序号:23362645
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本申请涉及一种微热板和微热板的制作方法。粘附层设置于石英玻璃基底的表面。电极层设置于粘附层远离石英玻璃的表面。石英玻璃基底远离粘附层的表面设置有凹槽。由于石英玻璃基底具有热导率低的特性,石英玻璃基底与环境的热传导能力较差,从而能够降低微热板...
该专利属于清华大学所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学授权不得商用。
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