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本文描述了用于检测在电镀设备的衬底保持器上是否存在不需要的金属沉积物的方法和设备。在多种实施方案中，镀覆传感器用于检测不需要的金属沉积物。镀覆传感器可以安装在离其测量区域(例如，传感器目标区域)相对较远的位置。例如，镀覆传感器可以在电镀设备...
该专利属于朗姆研究公司所有，仅供学习研究参考，未经过朗姆研究公司授权不得商用。

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