下载半导体存储器装置的技术资料

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半导体装置可以包括堆叠结构,该堆叠结构包括竖直堆叠在衬底上的多个层,以及竖直延伸以穿透堆叠结构的多个栅电极。多个层中的每一个可包括多个半导体图案,其沿第一方向平行延伸;位线,其电连接到半导体图案并沿与第一方向相交的第二方向延伸;第一气隙,其...
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