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本申请公开了晶圆级封装分割方法,包括获得由窗口层晶圆和器件层晶圆键合成的预处理晶圆,窗口层晶圆具有多个间隔排列的功能型凹槽和第一分割凹槽,器件层晶圆具有多个第二分割凹槽、读出电路和多个微桥结构;研磨窗口层晶圆,直至窗口层晶圆的厚度等于或小于...该专利属于烟台睿创微纳技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过烟台睿创微纳技术股份有限公司授权不得商用。
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本申请公开了晶圆级封装分割方法,包括获得由窗口层晶圆和器件层晶圆键合成的预处理晶圆,窗口层晶圆具有多个间隔排列的功能型凹槽和第一分割凹槽,器件层晶圆具有多个第二分割凹槽、读出电路和多个微桥结构;研磨窗口层晶圆,直至窗口层晶圆的厚度等于或小于...