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本申请提供的一种光阻去除装置、清洗液及光阻去除方法，所述光阻去除装置包括容器、第一供给部和第二供给部，所述容器包括容纳腔，所述第一供给部用于向所述容纳腔提供臭氧，所述第二供给部用于向所述容纳腔提供硫酸，所述容纳腔用于容纳所述臭氧和所述硫酸在...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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