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一种光学整流罩上加工引信触发的设计方法技术
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文档序号:23341751
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本发明提供一种光学整流罩上加工引信触发的设计方法,掩膜板的加工:将光学整流罩上的球面引信图案投影至平面上,获得平面引信图案并打印;确定辅助曝光球罩基体的半径,加工辅助曝光球罩;制作掩模板基体,并进行真空镀膜、涂胶和烘烤;将掩膜板基体和辅助曝...
该专利属于河北汉光重工有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北汉光重工有限责任公司授权不得商用。
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