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本发明公开了一种机械手的校准方法、装置和半导体处理设备。包括控制机械手进入粗略取片位以取测试晶片，并记录机械手在粗略取片位时的粗略伸缩半径和粗略旋转角度；控制机械手将测试晶片放置到直线性校准器上以进行校准，获得测试晶片的圆心偏移量和旋转角度...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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