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本发明提供一种排除前层缺陷干扰的方法，一次扫描获得缺陷信号的缺陷图，该缺陷图中包含前层干扰信号和当层缺陷信号；在一次扫描获得的缺陷图中设定前层干扰信号的坐标区间；二次扫描获得缺陷信号的缺陷图，并根据前层干扰信号的坐标区间滤除前层干扰信号；重...
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