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测试半导体器件的系统和方法以及制造半导体器件的方法技术方案
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下载测试半导体器件的系统和方法以及制造半导体器件的方法的技术资料
文档序号:23317111
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本发明涉及测试半导体器件的系统和方法以及制造半导体器件的方法。该半导体器件测试系统可以包括:主体,提供其中装载测试器件的内部空间;以及盖,联接到主体以覆盖内部空间。盖可以包括第一盖和第二盖,第一盖包括二维布置的第一开口,第二盖包括二维布置的...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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