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本公开涉及一种微影投影设备，本公开实施例提供一种提供具有不同波长的多个光源的微影投影设备中的基板测量装置。在一些实施例中，微影投影设备包括基板测量系统，设置靠近于基板载台，基板测量系统包括：发射器，包括多个光源，配置以提供多束光束，所述多束...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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