下载一种抗温度干扰的光学超表面聚焦成像元件及其方法的技术资料

文档序号:23314022

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本发明涉及一种抗温度干扰的光学超表面聚焦成像元件,所述元件包括二氧化硅基底和碳化硅纳米柱;所述纳米柱在基底上进行正方形阵列排序,并旋转预设的角度用于调制入射光的相位。本发明由亚波长间距纳米结构长方体阵列组成的超表面透镜,该透镜集成度高,尺寸...
该专利属于福州大学所有,仅供学习研究参考,未经过福州大学授权不得商用。

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