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本实用新型公开了一种半导体制造用清洗机,包括底座,所述底座的顶部通过螺栓连接有清洗箱和储液箱,且清洗箱的底部设有喇叭状结构的溢流罩,所述底座的顶部通过螺栓连接有输送泵,且输送泵的进口端通过法兰与储液箱连通,输送泵的出口通过法兰与溢流罩连通,...该专利属于昆山市智程自动化设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山市智程自动化设备有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种半导体制造用清洗机,包括底座,所述底座的顶部通过螺栓连接有清洗箱和储液箱,且清洗箱的底部设有喇叭状结构的溢流罩,所述底座的顶部通过螺栓连接有输送泵,且输送泵的进口端通过法兰与储液箱连通,输送泵的出口通过法兰与溢流罩连通,...