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一个实施方式的探针装置使载置于载置台的被检查体与探针电接触来检查所述被检查体的电气特性，该探针装置具有：支承台，其在上表面具有供所述探针的针迹转印的针迹转印构件；固定支承部，其以从所述载置台的侧方延伸的方式形成，从所述支承台的下部固定支承所...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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