探针装置和针迹转印方法制造方法及图纸

一个实施方式的探针装置使载置于载置台的被检查体与探针电接触来检查所述被检查体的电气特性，该探针装置具有：支承台，其在上表面具有供所述探针的针迹转印的针迹转印构件；固定支承部，其以从所述载置台的侧方延伸的方式形成，从所述支承台的下部固定支承所述支承台；以及可动支承部，其配设于所述支承台的下方，上下运动以能够与所述支承台接触，来可动地支承所述支承台。

Probe device and transfer method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】探针装置和针迹转印方法
本专利技术涉及一种探针装置和针迹转印方法。
技术介绍
以往，已知一种使载置于载置台的被检查体与探针电接触来检查被检查体的电气特性的探针装置(例如，参照专利文献1)，在专利文献1的探针装置中，使探针与安装在被载置台悬臂支承的支承台之上的针迹转印构件接触，来使探针的针尖位置转印到探针轨迹转印构件，之后通过照相机对进行转印所得到的探针的针迹的位置坐标和被检查体的基准电极极板的位置坐标进行检测，基于这些位置坐标来进行探针与被检查体的电极极板的位置对准。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4156968号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在上述的探针装置中，在使探针与针迹转印构件接触时针迹转印构件承受大的载荷，因此支承针迹转印构件的支承台有时向下方倾斜。当支承台向下方倾斜时，探针的针迹的转印精度下降，如转印到针迹转印构件的针迹的形状不均匀或针迹的位置发生偏移等。其结果是，探针与电极极板的位置对准精度下降。因此，鉴于上述问题，本专利技术的目本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针装置，使载置于载置台的被检查体与探针电接触来检查所述被检查体的电气特性，该探针装置具有：/n支承台，其在上表面具有供所述探针的针迹转印的针迹转印构件；/n固定支承部，其以从所述载置台的侧方延伸的方式形成，从所述支承台的下方固定支承所述支承台；以及/n可动支承部，其配设于所述支承台的下方，上下运动以能够与所述支承台接触，来可动地支承所述支承台。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170623 JP 2017-1236441.一种探针装置，使载置于载置台的被检查体与探针电接触来检查所述被检查体的电气特性，该探针装置具有：
支承台，其在上表面具有供所述探针的针迹转印的针迹转印构件；
固定支承部，其以从所述载置台的侧方延伸的方式形成，从所述支承台的下方固定支承所述支承台；以及
可动支承部，其配设于所述支承台的下方，上下运动以能够与所述支承台接触，来可动地支承所述支承台。


2.根据权利要求1所述的探针装置，其特征在于，
所述可动支承部具有：第一锁定机构，其能够与所述支承台的下表面接触；以及致动器，其使所述第一锁定机构上下运动。


3.根据权利要求2所述的探针装置，其特征在于，
所述第一锁定机构是气锁式的锁定机构。


4.根据权利要求2所述的探针装置，其特征在于，具有：
第一基部，其使所述载置台沿第一水平方向移动；以及
第二基部，其设置于所述第一基部之上，使所述载置台沿与所述第一水平方向正交的第二水平方向移动，
所述致动器的一端固定于所述第二基部。


5.根据权利要求4所述的探针装置，其特征在于，<...

【专利技术属性】
技术研发人员：太田智浩，山县一美，望月三代，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP