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本公开提供了一种薄膜物相含量的测量方法，包括：制备已知厚度的待测薄膜和参考薄膜；测量所述待测薄膜的第一摇摆曲线；测量所述参考薄膜的第二摇摆曲线；根据所述第一摇摆曲线计算第一校正强度曲线；根据所述第二摇摆曲线计算第二校正强度曲线；以及根据所述...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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