温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供基板处理装置和基板处理方法，能够抑制因对基板进行磨削的工具的磨损导致生产率的下降。基板处理装置具备：控制部，当由位置检测器检测到可动部到达预先设定的速度切换位置时，该控制部使可动部接近基板保持部的接近速度从第一速度减速至比第一速度...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。