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晶圆及半导体器件制造技术
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文档序号:23250233
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本公开是关于一种晶圆及半导体器件,所述晶圆包括晶圆本体和止裂硅通孔,所述晶圆本体上设置有用于切割的切割道;止裂硅通孔设于所述切割道的侧部,所述止裂硅通孔内填充有保护材料。通过在切割道两侧设置填充有保护材料的止裂硅通孔,在进行晶圆切割时,防止...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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