下载隐形切割用粘着片及半导体装置的制造方法的技术资料

文档序号:23242404

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本发明提供一种隐形切割用粘着片(1),其至少用于在室温环境下,将内部形成有改性层的半导体晶圆切断分离成各个芯片,所述隐形切割用粘着片(1)具备基材(11)及层叠于基材(11)的一面侧的粘着剂层(12),将隐形切割用粘着片(1)经由粘着剂层(...
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