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本申请实施例提供了一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置。该物料传送装置，包括：移动底座用于承载物料；物料存放位组件设置在导轨组件的一侧，用于承载移动底座；物料移动机构，设置在导轨组件上，可沿导轨组件移动，第一牵引组件用于将移动底座从物料...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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