单侧上下料半导体设备及其物料传送装置制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置。该物料传送装置，包括：移动底座用于承载物料；物料存放位组件设置在导轨组件的一侧，用于承载移动底座；物料移动机构，设置在导轨组件上，可沿导轨组件移动，第一牵引组件用于将移动底座从物料存放位组件移动到物料移动机构上，还用于将移动底座从物料移动机构移回物料存放位组件上；物料取放位组件设置在导轨组件的另一侧，用于承载移动底座，第二牵引组件用于将移动底座从物料移动机构移动到物料取放位组件上，还用于将移动底座从物料取放位组件移回物料移动机构上。本申请实施例实现了大幅降低了单侧上下料半导体设备的等待时间且提高了工作效率。

Single side loading and unloading semiconductor equipment and its material conveying device

【技术实现步骤摘要】
单侧上下料半导体设备及其物料传送装置
本申请涉及半导体处理
，具体而言，本申请涉及一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置。
技术介绍
目前，随着国内半导体市场的持续火热以及市场对于相关产品的巨大需求，客户对于半导体设备的产能需求越来越高，同时对于成本要求也越来越高。而伴随着国内老龄化趋势越来越明显，人工成本也逐渐水涨船高。如何解决上述难题便摆在每个半导体设备供应商的面前。目前，国内槽式清洗设备还普遍使用人工上下料，即由人工将承载有待清洗晶圆的花篮放置到清洗设备的上料位，待清洗完毕后再由人工从下料位将花篮取走。现阶段采用单个花篮或两个花篮较为普遍，花篮的清洗工艺时间一定，当清洗设备数量较多时操作人员需要在不同设备间频繁的进行上下料操作，若操作人员操作不及时，清洗设备就处于等待状态，从而影响清洗设备的清洗效率，而为了减少清洗设备的等待时间，就需配备更多的操作人员，但是人工成本又会大幅上升，导致经济效益较低。
技术实现思路
本申请针对现有方式的缺点，提出一种单侧上下料半导体设备及其物料传送装置，用以解决现有技术存效率较低、人工成本较高及经济效益较低的技术问题。第一个方面，本申请实施例提供了一种用于单侧上下料半导体设备的物料传送装置，包括：一个或多个物料存放位组件、一个或多个移动底座、物料移动机构、导轨组件、一个或多个物料取放位组件，其中，所述移动底座用于承载物料；所述物料存放位组件设置在所述导轨组件的一侧，用于承载所述移动底座；所述物料移动机构，设置在所述导轨组件上，可沿所述导轨组件移动，其包括一个或多个第一牵引组件，所述第一牵引组件用于将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述物料移动机构上，还用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动回所述物料存放位组件上；所述物料取放位组件设置在所述导轨组件的另一侧，用于承载所述移动底座，其包括一个或多个第二牵引组件，所述第二牵引组件用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动到所述物料取放位组件上，还用于将所述移动底座从物料取放位组件移动回所述物料移动机构上。于本申请的一实施例中，所述移动底座包括：移动座、承载件，其中，所述移动座的底部设置有滑轮，所述移动底座通过所述滑轮移动；所述承载件设置于所述移动座的上部，与所述移动座固定连接，用于承载所述物料。于本申请的一实施例中，所述物料移动机构还包括：底座、第一驱动部、一个或多个第一滑轨、一个或多个第一定位块，其中，所述第一牵引组件、所述第一驱动部、所述第一滑轨均设置在所述底座上，所述底座与所述导轨组件滑动配合；所述第一驱动部用于驱动所述底座在所述导轨组件上移动；所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向相交，所述第一定位块一一对应地设置于所述第一滑轨的侧壁上，所述移动底座上对应地设置有定位槽，所述第一牵引组件将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述第一滑轨上，所述第一定位块及定位槽配合以定位所述移动底座。于本申请的一实施例中，所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向互相垂直。于本申请的一实施例中，所述第一牵引组件和所述第二牵引组件均包括：第二驱动部、主动轮、从动轮、张紧轮、传动件、牵引销，其中，所述第二驱动部与所述主动轮连接，用于驱动所述主动轮转动；所述主动轮和所述从动轮间隔设置，所述传动件连接所述主动轮和所述从动轮，所述主动轮转动时，所述传动件随之转动并带动所述从动轮转动；所述张紧轮设置在所述主动轮和所述从动轮之间，顶抵于所述传动件上，用于调整所述传动件的张紧度；所述牵引销固定设置在所述传动件上，所述移动底座上设置有与所述牵引销配合的牵引块，通过所述传动件的转动，所述牵引销配合所述牵引块，使所述移动底座移动。于本申请的一实施例中，所述物料存放组件包括：支撑框架、第二滑轨、第二定位块，其中，所述第二滑轨的延伸方向与所述第一滑轨的延伸方向相同，所述物料移动机构通过在所述导轨组件上移动可选择性地使所述第一滑轨与所述第二滑轨对齐；所述第二定位块设置于所述第二滑轨的侧壁上，与所述移动底座上的所述定位槽的位置对应，所述第一牵引组件将所述移动底座从所述第一滑轨移动到所述第二滑轨上，所述第二定位块与所述定位槽配合以定位所述移动底座。于本申请的一实施例中，所述物料取放位组件包括支撑架、第三滑轨、第三定位块，其中，所述第三滑轨的延伸方向与所述第一滑轨的延伸方向相同，所述物料移动机构通过在所述导轨组件上移动可选择性地使所述第一滑轨与所述第三滑轨对齐；所述第三定位块设置于所述第三滑轨的侧壁上，与所述移动底座上的所述定位槽的位置对应，所述第二牵引组件将所述移动底座从所述第一滑轨到所述第三滑轨上，所述第三定位块与所述定位槽配合以定位于所述移动底座。于本申请的一实施例中，所述导轨组件包括支座、导轨、齿槽，其中，所述导轨和所述齿槽均设置在所述支座上；所述导轨上设置有滑动块，所述底座与所述滑动块固定连接；所述第一驱动部包括与所述齿槽配合的齿轮，所述第一驱动部驱动所述齿轮转动，通过所述齿槽与所述齿轮的配合带动所述底座在所述导轨上移动。于本申请的一实施例中，所述移动座的底部还设置有导向轮，所述导向轮与所述第一滑轨、所述第二滑轨或所述第三滑轨配合，用于在所述移动底座移动时限制其移动的方向。第二个方面，本申请实施例提供了一种单侧上下料半导体设备，包括如第一个方面提供的物料传送装置。本申请实施例提供的技术方案带来的有益技术效果是：本申请实施例通过将导轨组件设置于单侧上下料半导体设备的上下料端，然后在导轨组件的两侧设置物料存放位组件及物料取放位组件，并且在导轨组件上设置有物料移动机构，通过第一牵引组件及第二在牵引组件实现移动底座的移动，由此实现了物料在工艺过程中的自动上下料的操作，从而可以有效提高单侧上下料半导体设备的效率，大幅降低了单侧上下料半导体设备的等待时间；并且由于导轨组件的一侧可以存放多个移动底座，因此可以有效降低操作人员的配备，从而不仅可以有效降低人工成本，而且还可以进一步提高工作效率。本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。附图说明本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：图1为本申请实施例提供的物料传送装置与单侧上下料半导体设备配合的俯视示意图；图2为本申请实施例提供的物料传送装置的俯视示意图；图3为本申请实施例提供的物料存放位组件与移动底座配合的立体示意图；图4为本申请实施例提供的移动底座与花篮及物料存放位组件配合的立体示意图；图5为本申请实施例提供的移动底座的立体示意图；图6为本申请实施例提供的承载件与花篮配合的立体示意图；图7为本申请实施例提供的物料移动机构的立体示意图；图8为本申请实施例提供的第一牵引组件及第二牵引组件的立体示意图；图9为本申请实施例提供的第一牵引组件及第二牵引组件与移动底座配合的局部示意图；图10为本申请实施本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于单侧上下料半导体设备的物料传送装置，其特征在于，包括：一个或多个物料存放位组件、一个或多个移动底座、物料移动机构、导轨组件、一个或多个物料取放位组件，其中，/n所述移动底座用于承载物料；/n所述物料存放位组件设置在所述导轨组件的一侧，用于承载所述移动底座；/n所述物料移动机构，设置在所述导轨组件上，可沿所述导轨组件移动，其包括一个或多个第一牵引组件，所述第一牵引组件用于将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述物料移动机构上，还用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动回所述物料存放位组件上；/n所述物料取放位组件设置在所述导轨组件的另一侧，用于承载所述移动底座，其包括一个或多个第二牵引组件，所述第二牵引组件用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动到所述物料取放位组件上，还用于将所述移动底座从物料取放位组件移动回所述物料移动机构上。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于单侧上下料半导体设备的物料传送装置，其特征在于，包括：一个或多个物料存放位组件、一个或多个移动底座、物料移动机构、导轨组件、一个或多个物料取放位组件，其中，
所述移动底座用于承载物料；
所述物料存放位组件设置在所述导轨组件的一侧，用于承载所述移动底座；
所述物料移动机构，设置在所述导轨组件上，可沿所述导轨组件移动，其包括一个或多个第一牵引组件，所述第一牵引组件用于将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述物料移动机构上，还用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动回所述物料存放位组件上；
所述物料取放位组件设置在所述导轨组件的另一侧，用于承载所述移动底座，其包括一个或多个第二牵引组件，所述第二牵引组件用于将所述移动底座从所述物料移动机构移动到所述物料取放位组件上，还用于将所述移动底座从物料取放位组件移动回所述物料移动机构上。


2.如权利要求1所述的物料传送装置，其特征在于，所述移动底座包括：移动座、承载件，其中，
所述移动座的底部设置有滑轮，所述移动底座通过所述滑轮移动；
所述承载件设置于所述移动座的上部，与所述移动座固定连接，用于承载所述物料。


3.如权利要求2所述的物料传送装置，其特征在于，所述物料移动机构还包括：底座、第一驱动部、一个或多个第一滑轨、一个或多个第一定位块，其中，
所述第一牵引组件、所述第一驱动部、所述第一滑轨均设置在所述底座上，所述底座与所述导轨组件滑动配合；
所述第一驱动部用于驱动所述底座在所述导轨组件上移动；
所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向相交，所述第一定位块一一对应地设置于所述第一滑轨的侧壁上，所述移动底座上对应地设置有定位槽，所述第一牵引组件将所述移动底座从所述物料存放位组件移动到所述第一滑轨上，所述第一定位块及定位槽配合以定位所述移动底座。


4.如权利要求3所述的物料传送装置，其特征在于，所述第一滑轨的延伸方向与所述导轨组件的延伸方向互相垂直。


5.如权利要求1至4的任一所述的物料传送装置，其特征在于，所述第一牵引组件和所述第二牵引组件均包括：第二驱动部、主动轮、从动轮、张紧轮、传动件、牵引销，其中，
所述第二驱动部与所述主动轮连接，用于驱动所述主动轮转动；
所述主动轮和所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：林欣家，赵曾男，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11