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本发明公开了一种静电消除装置，通过接地部件、第一静电传输部件以及第二静电传输部件之间的配合来对晶圆表面的静电电荷残留进行释放，避免由于静电无法释放完全导致影响后续制程的情况产生。其中所述第一静电传输部件设置在所述接地部件上，所述第二静电传输...
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