温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种原位在线反射光学测量系统及方法，包括：用于提供材料生长环境的材料生长模块和用于实现材料生长原位监测的光学检测模块；所述材料生长模块包括材料生长部，所述材料生长部上设有用于提供入射光和出射光进出路径的窗口；所述光学检测模块包括...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。