下载一种硅麦克风及电子设备的技术资料

文档序号:23183130

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本申请提供了一种硅麦克风及电子设备,涉及麦克风技术领域。本申请中的硅麦克风包括基板、壳体、专用集成电路芯片、微机电芯片。壳体与基板形成密封腔室,使外部环境中的水汽、粉尘无法通过壳体进入密封腔室,基板内部设置有进音通道,密封腔室内的基板上开设...
该专利属于甬矽电子(宁波)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过甬矽电子(宁波)股份有限公司授权不得商用。

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