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一种波长可调谐半导体激光器制造技术
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文档序号:23163539
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本发明涉及DFB半导体激光器技术领域,提供了一种波长可调谐半导体激光器,包括DFB激光器结构、波长调谐器结构以及隧道结结构,所述DFB激光器结构和所述波长调谐器结构通过所述隧道结结构集成,所述隧道结结构位于所述DFB激光器结构和所述波长调谐...
该专利属于武汉云岭光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉云岭光电有限公司授权不得商用。
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