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一种改善铁电薄膜电容器性能的方法技术
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文档序号:23163315
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本发明涉及一种改善铁电薄膜电容器性能的方法,在采用正探针尖端或负探针尖端向铁电薄膜电容器中的薄膜施加电压以读写铁电薄膜电容器的过程中,将尖端输入的脉冲长度缩至2ms以下,且/或在铁电薄膜电容器被电压极化后,将尖端输入的电压调至0V后保持一段...
该专利属于上海工程技术大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海工程技术大学授权不得商用。
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