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半导体器件制造技术
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文档序号:23163233
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一种半导体器件,其可以包括:有源鳍,所述有源鳍通过有源鳍之间的凹部彼此间隔开,所述有源鳍中的每一个从衬底的上表面突出;隔离结构,其包括在凹部的下部的下表面上和侧壁上的衬垫,以及在所述衬垫上的阻挡图案,所述阻挡图案填充所述凹部的下部的剩余部分...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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