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本发明提供一种DOE光路成像系统，包括准直模块、光学校正模块、DOE模块和会聚模块，所述准直模块用于对入射光进行准直处理并输出准直后光束，所述光学校正模块接收所述准直后光束并对所述准直后光束进行校正，输出校正后光束，所述DOE模块接收所述校...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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