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一种晶圆级自动测试系统技术方案
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文档序号:23083843
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本发明提供一种晶圆级自动测试系统,包括:测试机和探针台;探针台用于承载待测晶圆;显示界面;晶圆选择工具,用于读取并选择待测晶圆并产生晶圆选择信息;自定义文本,用于定义目标芯片位置;设于显示界面的文本接口,用于导入自定义文本;设于测试机内的测...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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