温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种半导体结构的边界特征提取方法及其装置。该测量方法获取透射电子显微镜输出的半导体结构的剖面图像，剖面图像包括至少一个图形；以及根据剖面图像识别图形的边界，其中，识别图形的边界的步骤包括：根据剖面图像中各像素的灰度值获得二阶导数...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。