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本发明公开了一种防溅罩及化学机械抛光机台，属于半导体制造技术领域，所述防溅罩环绕工作机台设置，用于阻挡所述工作机台甩溅出来的液体，所述防溅罩由多个罩部件组成，每个所述罩部件固定安装于一升降台；所述升降台连接一驱动装置，所述驱动装置驱动所述升...
该专利属于武汉新芯集成电路制造有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉新芯集成电路制造有限公司授权不得商用。

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