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本发明提供了一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法，通过采用一带有螺纹的长条形转轴，与样品池连接，再用垫片和螺母将其锁紧；样品池内外均填满了抛光液和磨粒，转轴在电机的驱动下带动样品池一起旋转，从而完成其内外圆柱面的抛光。其中所述抛光液...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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