一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法技术

本发明专利技术提供了一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法，通过采用一带有螺纹的长条形转轴，与样品池连接，再用垫片和螺母将其锁紧；样品池内外均填满了抛光液和磨粒，转轴在电机的驱动下带动样品池一起旋转，从而完成其内外圆柱面的抛光。其中所述抛光液主要成分为双氧水、磷酸、壳寡糖、苯骈三氮唑，磨粒为碳化硅。本发明专利技术的优势在于：能有效减小细长薄壁样品池的变形，一次同时抛光内外两个表面，抛光效率高，此外，该加工方式抛光出的样品池内外圆柱表面的同轴度及光洁度均非常高。

A kind of chemical mechanical polishing method for the thin and thin-walled cylinder pure copper sample cell

【技术实现步骤摘要】
一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法
本专利技术属于机械制造行业
，具体为一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法。
技术介绍
铜具有较优良的导电性、导热性、延展性、耐腐蚀性、耐磨性等优良性质，广泛应用于电力、电子、能源及石化、机械及冶金、交通、轻工、新兴产业及等领域。热容是物质的热力学性质之一，任一体系热容的定义是指在任一过程中，加给体系的热量与体系由此所引起的温度变化之比。把从实验获得的热容数据进行数学处理，得到物质在不同温度下的各种标准热力学函数，如焓变、熵变以及Gibbs自由能变化。目前为止，绝热量热实验技术一直被认为是测定物质热容最准确、最直接的方法，而绝热量热仪的核心部件为筒形细长薄壁纯铜样品池。在高温绝热量热过程中，辐射传热占主导地位，严重影响热容测量的准确度。为减少辐射传热，必须使样品池内外表面光洁。目前针对细长薄壁零件的精加工，常采用单纯的车削或磨削加工方式，该加工方式装夹不方便，加工时工件易变形，刀具振动大，此外，工件内表面加工更为困难，加工效率低。传统机械抛光难以加工细长薄壁零件，且机械抛本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：/n步骤一：采用一带有螺纹的长条形转轴，与样品池连接，再用垫片和螺母将其锁紧；/n步骤二：配制化学机械抛光液，并缓慢倒入一容器内；；/n步骤三：当样品池被抛光液完全浸泡后，使样品池开始做旋转运动，进行化学机械抛光；样品池旋转速度为120～160rpm，抛光时间为45～90min。/n

【技术特征摘要】
1.一种筒形细长薄壁纯铜样品池的化学机械抛光方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤一：采用一带有螺纹的长条形转轴，与样品池连接，再用垫片和螺母将其锁紧；
步骤二：配制化学机械抛光液，并缓慢倒入一容器内；；
步骤三：当样品池被抛光液完全浸泡后，使样品池开始做旋转运动，进行化学机械抛光；样品池旋转速度为120～160rpm，抛光时间为45～90min。


2.根据权利要求1所述的一种化学...

【专利技术属性】
技术研发人员：张振宇，张群，廖龙兴，史全，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：辽宁;21