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电迁移可靠性测试结构及电迁移可靠性测试方法技术
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文档序号:22945522
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本申请公开了一种电迁移可靠性测试结构及电迁移可靠性测试方法,该测试结构包括:测试线,测试线为集成电路中的互连线;第一通孔,第一通孔的第一端和测试线的第一端连接;第一引线,第一引线与第一通孔的第二端以及第一电流线连接,第一引线和第一通孔的第二...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。
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