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本申请实施例提供了一种冷却装置、半导体处理腔室及设备。该冷却装置设置于腔室的排气口与排气管的连接部，包括：冷却管路及回收管路；冷却管路内流动有冷却介质用于对连接部进行冷却，回收管路用于回收冷却介质。本申请实施例可以有效提高连接部的密封圈的密...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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