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存储装置、凹陷沟道阵列晶体管制造方法及图纸
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下载存储装置、凹陷沟道阵列晶体管的技术资料
文档序号:22906273
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本公开提供了一种存储装置和凹陷沟道阵列晶体管,属于存储技术领域。该凹陷沟道阵列晶体管包括有源区和栅极结构。其中,有源区设置有凹槽通道,所述有源区包括阱区和源漏区;栅极结构包括栅极和栅极绝缘层,所述栅极和所述栅极绝缘层填充于所述凹槽通道中,且...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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