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本发明公开了一种具有冗余度的单层并联三自由度一体式柔顺精密定位平台。本发明包括基座，运动平台，运动平台与基座通过四组柔顺位移放大机构连接；这四组放大机构呈９０°旋转对称分布在运动平台的四侧。本发明能达到纳米级定位精度，定位平台具有很好的可操...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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