冗余度单层并联三自由度一体式柔顺精密定位平台制造技术

本发明专利技术公开了一种具有冗余度的单层并联三自由度一体式柔顺精密定位平台。本发明专利技术包括基座，运动平台，运动平台与基座通过四组柔顺位移放大机构连接；这四组放大机构呈９０°旋转对称分布在运动平台的四侧。本发明专利技术能达到纳米级定位精度，定位平台具有很好的可操作性，可避免接近奇异位形，有效克服输入、输出耦合问题，增加其工作灵活性。本发明专利技术可通过采用二级或更高级别的柔顺放大机构扩大工作台的运动范围。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种柔顺精密定位平台，具体是一种可实现沿X、Y方向的精密定位及绕Z轴的角度精细调整的具有冗余度的柔顺精密定位平台。
技术介绍
目前，精密定位平台都不具有驱动冗余性能。如果运动平台处于奇异位形，将失去一个或数个自由度而降低完成任务的能力。因此，可以通过增加一个或数个驱动输入来改善工作台的工作能力，满足避免接近奇异位形等要求。这种冗余度精密定位平台能够优化可操作性、改善运动学和动力学特性。另外，现有的三自由度精密定位平台一般均存在输入、输出耦合问题，从而影响了工作精度，增加了控制难度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对已有技术所存在的缺点，提供一种新颖的冗余度单层并联三自由度一体式柔顺精密定位平台。该定位平台可同时避免接近奇异位形、优化可操作度、改善运动学和动力学特性，而且整个定位平台本体是单层一体式的，可以由一块材料加工而成。为达到上述目的，本专利技术采取了下述技术方案冗余度单层并联三自由度一体式柔顺精密定位平台，包括运动平台2及基座1，其特征在于运动平台2及基座1之间采用四组位移放大机构9柔性铰链连接；这四组放大机构呈90°旋转对称分布在运动平台的四侧。所述的位移本文档来自技高网...

【技术保护点】
冗余度单层并联三自由度一体式柔顺精密定位平台，包括运动平台（２）及基座（１），其特征在于运动平台（２）及基座（１）之间采用四组位移放大机构（９）连接；这四组放大机构呈９０°旋转对称分布在运动平台的四侧。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张宪民，王华，陈永健，欧阳高飞，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：81[中国|广州]