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本发明提供一种减压干燥装置，在通过减压使基板上的处理液干燥时，能够减少处理液中的干燥不均的发生。在腔室(10)内的底面(100)设置有凹部(12)，在该凹部(12)的底面(120)设置有排气口(14)。在容纳空间(10S)中的Z轴方向(凹部...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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