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半导体芯片的制造方法、表面保护带技术
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文档序号:22758237
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在半导体晶片(1)的磨削后,使半导体晶片(1)的表面(S)侧与静电夹头(9)相向,将半导体晶片(1)固定于静电夹头(9)。接着,在贴合有表面保护带(3)的状态下,在经磨削的半导体晶片(1)的背面(B)形成掩模材料层。接着,从背面(B)侧,对...
该专利属于古河电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过古河电气工业株式会社授权不得商用。
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