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本发明公开了一种用于半导体设备的上下位机信息同步系统。该系统包括上位机、下位机以及系统数据库，所述系统数据库分别与所述上位机、所述下位机通信连接。所述上位机与所述下位机用于记录半导体设备的硬件信息以及工艺执行过程中的事件过程信息，且所述上位...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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