用于半导体设备的上下位机信息同步系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种用于半导体设备的上下位机信息同步系统。该系统包括上位机、下位机以及系统数据库，所述系统数据库分别与所述上位机、所述下位机通信连接。所述上位机与所述下位机用于记录半导体设备的硬件信息以及工艺执行过程中的事件过程信息，且所述上位机和所述下位机基于数据镜像机制实现信息同步，并且将同步的信息反馈给所述系统数据库。本发明专利技术实现了在软件异常情况下的灵活选择处理方式和硬件信息的同步管理机制，完善了工艺过程中异常处理能力，有助于提升硬件信息的真实性和可靠性。

Information synchronization system and method of upper and lower computer for semiconductor equipment

The invention discloses an upper and lower computer information synchronization system for semiconductor equipment. The system includes a upper computer, a lower computer and a system database, and the system database is respectively communicated and connected with the upper computer and the lower computer. The upper computer and the lower computer are used to record the hardware information of the semiconductor device and the event process information in the process of process execution, and the upper computer and the lower computer realize information synchronization based on the data mirroring mechanism, and feed back the synchronous information to the system data base. The invention realizes the flexible selection of processing mode and the synchronous management mechanism of hardware information in the case of software abnormality, improves the abnormality processing ability in the process, and helps to improve the authenticity and reliability of hardware information.

【技术实现步骤摘要】
用于半导体设备的上下位机信息同步系统及方法
本专利技术涉及半导体集成电路制造领域，具体地，涉及一种用于半导体设备的上下位机信息同步系统及方法。
技术介绍
在半导体设备中进行的工艺通常以硅片作为产品载体，在硅片进行一系列的工艺加工形成工艺半成品或者成品。通常情况下进行硅片工艺加工是通过工业机械手传入和传出设备的，由于设备的不同，一次进行加工的晶圆和装载晶圆的Foup(Frontopeningunifiedpod，正面开口标准箱)也是不同的。例如立式氧化炉一次可以加工1-141片不等的晶圆，如图1所示，其中，表示晶圆，表示插槽。当设备进行工艺时，，如果设备出现异常，如断电的情况或者上下位机任意一台控制系统断电的情况，重启控制设备后往往会出现上下位机对进入设备进行的晶圆和Foup记录不相同的情况。目前解决设备工艺异常情况下设备上下位机Foup和晶圆等硬件同步的方法是通过客户的数据库记录和目测设备中Foup位置和晶圆进行匹配进行确认。立式氧化炉设备是半导体生产线上的重要设备，主要用于半导体生产线的氧化和淀积工艺。该设备的结构如图2所示。在该设备本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于半导体设备的上下位机信息同步系统，其特征在于，包括上位机、下位机以及系统数据库，所述系统数据库分别与所述上位机、所述下位机通信连接；/n所述上位机与所述下位机用于记录半导体设备的硬件信息以及工艺执行过程中的事件过程信息，且所述上位机和所述下位机基于数据镜像机制实现信息同步，并且将同步的信息反馈给所述系统数据库。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体设备的上下位机信息同步系统，其特征在于，包括上位机、下位机以及系统数据库，所述系统数据库分别与所述上位机、所述下位机通信连接；
所述上位机与所述下位机用于记录半导体设备的硬件信息以及工艺执行过程中的事件过程信息，且所述上位机和所述下位机基于数据镜像机制实现信息同步，并且将同步的信息反馈给所述系统数据库。


2.根据权利要求1所述的用于半导体设备的上下位机信息同步系统，其特征在于，所述上位机包括：第一对像管理中心、第一事件处理中心、第一信息处理中心以及第一数据管理中心；
所述第一对像管理中心用于为半导体设备的硬件对象制备传输状态表以及互锁对象列表；
所述第一事件处理中心用于为所述传输状态表中的每一个动作绑定相关事件，在工艺执行过程中触发事件的产生，并且所述第一事件处理中心记录事件过程信息；
所述第一信息处理中心，用于同步管理所述第一事件处理中心和所述第一对象管理中心的数据信息，并将同步后的数据信息发送至所述第一数据管理中心；
所述第一数据管理中心用于接收所述信息处理中心的数据，实现与所述下位机的信息同步；
所述下位机包括：第二对像管理中心、第二事件处理中心、第二信息处理中心以及第二数据管理中心；
所述第二对像管理中心用于为半导体设备的硬件对象制备传输状态表以及互锁对象列表；
所述第二事件处理中心用于为所述传输状态表中的每一个动作绑定相关事件，在工艺执行过程中触发事件的产生，并且所述第二事件处理中心记录事件过程信息；
所述第二信息处理中心，用于同步管理所述第二事件处理中心和所述第二对象管理中心的数据信息，并将同步后的数据信息发送至所述第二数据管理中心；
所述第二数据管理中心用于接收所述第二信息处理中心的数据，实现与所述上位机的信息同步。


3.根据权利要求1所述的用于半导体设备的上下位机信息同步系统，其特征在于，还包括软件界面；
所述软件界面用于与用户进行交互，并且所述软件界面与所述系统数据库通信连接，以向所述系统数据库...

【专利技术属性】
技术研发人员：周法福，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11