下载一种半导体晶圆贴膜装置的技术资料

文档序号:22701811

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本实用新型涉及一种半导体晶圆贴膜装置,具有机箱;机箱的一侧设有蓝膜胶辊;机箱的另一侧设有贴膜台;贴膜台上设有贴膜盘;所述贴膜盘的上方设有可水平移动并可将蓝膜压在半导体晶圆上的压膜辊组件;所述贴膜盘的上方设有用于切割蓝膜的切割组件;所述蓝膜胶...
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