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本发明公开了一种支撑结构、托盘支撑组件和工艺腔室。支撑结构包括支撑件，其包括承载部和第一限位部，承载部用于承载被限位件；第一限位部位于所述承载部的一侧，所述第一限位部能与所述被限位件的外表面相贴合，以限制所述被限位件在所述承载部上滑动。将被...
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