支撑结构、托盘支撑组件和工艺腔室制造技术

本发明专利技术公开了一种支撑结构、托盘支撑组件和工艺腔室。支撑结构包括支撑件，其包括承载部和第一限位部，承载部用于承载被限位件；第一限位部位于所述承载部的一侧，所述第一限位部能与所述被限位件的外表面相贴合，以限制所述被限位件在所述承载部上滑动。将被限位件的外表面与第一限位部相贴合，这样，即便支撑结构在受到外界干扰或者产生的震动的情况下，该支撑结构均能够稳固地将被限位件固定在承载部上，防止发生滑移。

Support structure, tray support assembly and process chamber

The invention discloses a support structure, a tray support component and a process chamber. The support structure includes a support member, which includes a bearing part and a first limiting part for bearing the limited member; the first limiting part is located on one side of the bearing part, and the first limiting part can fit the outer surface of the limited member to limit the sliding of the limited member on the bearing part. The outer surface of the limited part is fitted with the first limited part, so that the supporting structure can firmly fix the limited part on the bearing part to prevent sliding even if the supporting structure is disturbed or vibrated by the outside.

【技术实现步骤摘要】
支撑结构、托盘支撑组件和工艺腔室
本专利技术涉及半导体设备
，具体涉及一种支撑结构、一种包括该支撑结构的托盘支撑组件以及一种包括该托盘支撑组件的工艺腔室。
技术介绍
传统的，晶片在完成工艺以后，需要在工艺腔室(例如，冷却腔室)中进行冷却，冷却腔室中一般配置有托盘支撑组件，该托盘支撑组件用以承载托盘，工艺完成后的晶片放置在托盘上进行冷却。具体地，如图1和图2所示，冷却腔室400内设置有托盘支撑组件200，该托盘支撑组件200包括框架210、安装在框架210上的多个支撑结构100以及与框架210连接的升降机构220，该支撑结构100包括U型槽150，托盘310安装在该U型槽150中。但是，当冷却腔室受到外界干扰或设备中的一些其他部件(例如，抽真空元件)的震动时，冷却腔室400会存在些微的震动，这样，会使得放置在U型槽140中托盘310因震动产生滑动，最终会导致托盘310滑向传输口A方向。当其滑动距离超过2mm后，机械手进入冷却腔室400中将不能顺利取走冷却后的托盘310。从而导致设备报警，影响设备的正常生产。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种支撑结构、一种包括该支撑结构的托盘支撑组件以及一种包括该托盘支撑组件的工艺腔室。为了实现上述目的，本专利技术的第一方面，提供了一种支撑结构，所述支撑结构包括支撑件；所述支撑件包括承载部和第一限位部，其中，所述承载部用于承载被限位件；所述第一限位部位于所述承载部的一侧，且所述第一限位部能与所述被限位件的外表面相贴合，以限制所述被限位件在所述承载部上滑动。可选地，所述第一限位部包括限位斜面，所述被限位件为托盘；所述限位斜面与水平方向所形成的夹角和所述托盘的外周面与底面所形成的夹角相等，以使得所述限位斜面与所述托盘的外周面相贴合。可选地，所述支撑件还包括导向面，所述导向面与所述限位斜面连接，所述导向面用于将所述托盘导向至所述限位斜面处。可选地，所述支撑结构还包括安装件；所述安装件设置有安装槽，所述支撑件可转动地设置在所述安装槽中，且所述支撑件的所述承载部所在的一侧向上倾斜预设角度。可选地，所述支撑件还包括支撑本体，所述支撑本体的一侧面分别形成所述导向面和所述限位斜面，所述支撑本体的设有所述限位斜面的一侧底部向外延伸形成所述承载部，所述支撑本体的相对的另一侧底部设有凸块；所述凸块与所述安装槽抵接，且所述限位斜面处于竖直状态。可选地，所述支撑结构还包括铰链销；所述铰链销依次穿设在所述安装件和所述支撑本体中。可选地，所述安装件还包括第二限位部，以使得所述支撑本体转动至与所述第二限位部抵接时，所述承载部能够处于水平状态。本专利技术的第二方面，提供了一种托盘支撑组件，用于对所述托盘进行支撑并限位，包括前文记载的所述的支撑结构。可选地，还包括：框架，所述框架上间隔设置有多个所述支撑结构；升降机构，所述升降机构与所述框架连接，以驱动所述框架升降。本专利技术的第三方面，提供了一种工艺腔室，包括前文记载的所述的托盘支撑组件。本专利技术的支撑结构、托盘支撑组件和工艺腔室。其第一限位部可以与被限位件(例如，托盘)的外表面相贴合，因此，即便支撑结构在受到外界干扰或者震动的情况下，该支撑结构均能够稳固地将被限位件固定在承载部上，防止被限位件在承载部上发生滑移。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1为现有技术中冷却腔室的结构示意图；图2为图1中所示的托盘支撑组件的结构示意图；图3为本专利技术第一实施例中支撑结构的结构示意图；图4为本专利技术第二实施例中支撑结构未放置托盘时的结构示意图；图5为本专利技术第三实施例中支撑结构准备放置托盘时的结构示意图；图6为本专利技术第四实施例中支撑结构放置托盘时的结构示意图；图7为本专利技术第五实施例中托盘支撑组件的结构示意图。附图标记说明100：支撑结构；110：支撑件；111：承载部；112：第一限位部；112a：限位斜面；113：导向面；120：安装件；121：安装槽；122：第二限位部；130：支撑本体；131：凸块；140：铰链销；150：U型槽；200：托盘支撑组件；210：框架；220：升降机构；300：被限位件；310：托盘；400：冷却腔室。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。如图3至图6所示，本专利技术的第一方面，涉及一种支撑结构100，该支撑结构100包括支撑件110，该支撑件110包括承载部111和第一限位部112。承载部111用于承载被限位件300(例如，托盘等结构)。第一限位部112位于承载部111的一侧，并且，该第一限位部112能与被限位件300的外表面相贴合，以限制被限位件300在承载部111上滑动。以将上述的支撑结构100应用于半导体处理设备(图中并未示出)中的冷却腔室为例进行说明，相应地，上述被限位件300可以为托盘。具体地，如图3所示，在晶片完成工艺以后，一般需要将晶片放置到冷却腔室(图中并未示出)中进行冷却，也就是说，需要将晶片放置到支撑结构100上所承载的托盘中进行冷却。由于托盘的外表面与第一限位部112相配合，因此，即便支撑结构100在受到外界干扰或者半导体处理设备本身所产生的震动的情况下，该支撑结构100均能够稳固地将托盘固定在承载部111上，防止托盘在承载部111上发生滑移。这样，机械手可以顺利地取走冷却后的托盘，提高取件效率。再或者，当机械手从托盘上直接取片时，未发生滑移的托盘，能够确保晶片的中心与机械手的中心重合，使得机械手具有最佳的取片位置，从而能够极大地提高取片良率，进而可以降低制作成本，提高生产效益。需要说明的是，对于第一限位部112的具体结构并没有作出限定，其只要能够满足与被限位件300的外表面相贴合，以限制被限位件300在承载部111上滑动即可。如图3和图4所示，上述第一限位部112包括限位斜面112a，上述被限位件300为托盘。该限位斜面与水平方向所形成的夹角和托盘的外周面与底面所形成的夹角相等，以使得限位斜面112a与托盘的外周面相贴合。本实施例结构的支撑结构100，其限位斜面112a与水平方向所形成的夹角和托盘的外周面与底面所形成的夹角相等，从而可以使得限位斜面112a与托盘的外周面相贴合，这样，当托盘放置到承载部111上时，其外周面可以与限位斜面112a相贴合，从而可以有效防止托盘在受到外界干扰或设备震动出现滑动的现象。并且，采取限位斜本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种支撑结构，其特征在于，所述支撑结构包括支撑件；/n所述支撑件包括承载部和第一限位部，其中，/n所述承载部用于承载被限位件；/n所述第一限位部位于所述承载部的一侧，且所述第一限位部能与所述被限位件的外表面相贴合，以限制所述被限位件在所述承载部上滑动。/n

【技术特征摘要】
1.一种支撑结构，其特征在于，所述支撑结构包括支撑件；
所述支撑件包括承载部和第一限位部，其中，
所述承载部用于承载被限位件；
所述第一限位部位于所述承载部的一侧，且所述第一限位部能与所述被限位件的外表面相贴合，以限制所述被限位件在所述承载部上滑动。


2.根据权利要求1所述的支撑结构，其特征在于，
所述第一限位部包括限位斜面，所述被限位件为托盘；
所述限位斜面与水平方向所形成的夹角和所述托盘的外周面与底面所形成的夹角相等，以使得所述限位斜面与所述托盘的外周面相贴合。


3.根据权利要求2所述的支撑结构，其特征在于，
所述支撑件还包括导向面，所述导向面与所述限位斜面连接，所述导向面用于将所述托盘导向至所述限位斜面处。


4.根据权利要求3所述的支撑结构，其特征在于，所述支撑结构还包括安装件；
所述安装件设置有安装槽，所述支撑件可转动地设置在所述安装槽中，且所述支撑件的所述承载部所在的一侧向上倾斜预设角度。


5.根据权利要求4所述的支撑结构，其特征在于，
所述支撑...

【专利技术属性】
技术研发人员：王桐，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11