下载流体阀装置的技术资料

文档序号:2247174

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一种流体阀装置,该装置为在可动部件周围采用不易导致密封性降低的密封结构,并可以长期地阻止异物进入作为保护对象的驱动部件的技术,流体阀装置具有:配置在流体通过的流路(11)内的可以变位的阀部件(14a);配置在所述流路(11)外面的驱动装置(...
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