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适用于在EUV波长范围内的波长处使用的反射镜的基底(1)，包含基础体(2)。...
该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。

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