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本发明提供一种加热灯的电流监测方法及装置、反应腔室，包括以下步骤：S1，实时采集在工艺进行中的当前输出电流值；S2，判断当前输出电流值是否发生变化，若否，则返回步骤S1；若是，则计算自当前输出电流值之前的预设时间段内的平均电流值；S3，判断...
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